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鉬合金在液晶領域的應用

钼靶材鉬合金在液晶領域有什麼應用呢?

大型平板顯示器更要求低電阻化 作為LCD、PDP 等平板顯示器的電極或配線材料,鉬合金系靶材引人注目。

目前在 LCD 上主要使用 Cr,但隨著平板顯示器大型化、高精細化,對材料比電阻的要求提高,需求高漲。在靶材的大型化方面,日本的某公司與奧地利的某公司展開了競爭。

添加 W等元素可使比電阻、應力、耐蝕性均衡由於平板顯示器的大型化,配線的長度增加線寬變細,因此電阻值增大,所以要求更低電阻的配線材料。與 Cr 相比,鉬的比電阻、膜應力要小一半,但耐蝕性(變色)、密著性差。在 鉬中加入 W、V、Nb、Ta 等,以求比電阻,應力、耐蝕性等各種性能均衡。

Mo-V、Mo-Nb 合金靶材日立公司開發了添加V、Nb的靶材。純鉬膜的比電阻約為Cr一半(12ìùcm~13ìùcm),應力也低,但耐蝕性試驗中產生膜剝離、消失。而在80鉬-20V(at%)合金膜中,雖產生變色,但未產生膜剝離,比電阻比 Cr 的低 5%。80鉬-20Nb(at%)合金膜則不變色,保持金屬光澤,比電阻比 Cr 低 10%。該公司正根據需求要求完善 鉬 系靶材的分級。

某公司向日本出口純鉬和鉬-W合金 某公司現向日本供應 鉬 及耐蝕性、膜的密著性都改善的Mo-W合金靶材。該公司將板材出口到日本(日本某),在日本國內對板兩面拋光,複合在基板上供給用戶。

靶材大型化的競爭日趨激烈靶材也在追求與平板顯示器相應的尺寸大型化。現在的主流是第四代的 1130mm×1200mm 尺寸,今後可能向第五代的 1450mm×1700mm 和第六、七代的 2000mm 見方的方向發展。東ソー的 鉬 靶為片式的 1000mm×1300mm×16mm 和 長 方 形 的 300mm × 2000mm ×16mm,日立金屬的也與第五代的尺寸相應。某公司佔據世界上無人匹敵的大型 鉬軋製技術的優勢地位,估計在大型靶材上要與其他公司拉大差距。

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