採用真空電弧熔煉方法制得TZM合金，具體製備工藝流程示於圖1。
將鉬粉末與合金添加劑在混料機中混合後裝料，然後在等靜壓機上製成棒坯，將經過燒結的棒坯電阻焊成熔化電極，用真空自耗電弧爐二次熔煉，製備出鑄錠，得到成品TZM合金。
图1 TZM合金制备工艺流程图
TZM合金成分要求C、O、N雜質含量均小於6×10-5，為使材料達到低氣體雜質含量的要求，採用電子束熔煉法去除氣體雜質。擠壓在600 t立式擠壓機上進行，選擇110 mm擠壓筒，溫度1 600℃，擠壓比為2∶1。
表 TZM合金成分
| w(Cr) | w(Ti) | w(Zr) | w(O) | w(C) | w(N) |
| ≤3×10-4 | ≤0.4% | 0.05%~0.25% | 6×10-4 | <6×10-4< | 6×10-4 |
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