采用真空电弧熔炼方法制得TZM合金，具体制备工艺流程示于图1。
将钼粉末与合金添加剂在混料机中混合后装料，然后在等静压机上制成棒坯，将经过烧结的棒坯电阻焊成熔化电极，用真空自耗电弧炉二次熔炼，制备出铸锭，得到成品TZM合金。
图1 TZM合金制备工艺流程图
TZM合金成分要求C、O、N杂质含量均小于6×10-5，为使材料达到低气体杂质含量的要求，采用电子束熔炼法去除气体杂质。挤压在600 t立式挤压机上进行，选择110 mm挤压筒，温度1 600℃，挤压比为2∶1。
表 TZM合金成分
| w(Cr) | w(Ti) | w(Zr) | w(O) | w(C) | w(N) |
| ≤3×10-4 | ≤0.4% | 0.05%~0.25% | 6×10-4 | <6×10-4< | 6×10-4 |
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