Moly alliage utilisé dans l'industrie du revêtement
Avec le développement rapide de l'industrie de l'information électronique, l'application de molybdène cible de pulvérisation comme un linéaire vers le haut. Cible de pulvérisation est d'obtenir le matériau de base du film, avec le développement rapide de la science et de la technologie progresse à couches minces, cible de la recherche a également connu un développement considérable. Les applications cibles de pulvérisation comprennent des écrans plats, semi-conducteurs, de stockage magnétique, le stockage d'enregistrement optique, les machines solaire, de l'automobile, du verre, de la décoration et d'autres industries.
Dans une grande variété de matériau cible, la mammographie a beaucoup d'excellentes fonctionnalités, il est largement utilisé dans l'industrie plat de panneau d'affichage, industrie des cellules solaires à couches minces, l'industrie des semi-conducteurs, l'industrie médicale, industrie de l'usinage et de la lubrification solide, etc, montre le tableau 1 l'application de la mammographie principale.
Au cours des dernières années, la CDO (LCD), PDP (écran à plasma) et d'autres électrodes d'affichage à écran plat et les matériaux câblage molybdène cible d'alliage de l'attention de plus en plus de personnes. Dans le TFT-CDO, l'électrode de grille est un élément clé, il est principalement utilisé Cr / Al en tant que matériau d'électrode de grille, avec une grande technologie d'affichage à écran plat et d'une grande précision, l'impédance du matériau de la plus forte demande pour l'impédance de molybdène et le rapport de chrome contrainte de film seulement 1/2, et parce que le processus de gravure va produire le hexavalent état Cr, nocifs pour l'environnement et la santé, alors que de plus en plus d'entreprises utilisent Mo / AL en tant que matériau d'électrode de grille, de sorte que la demande de plus en plus également mammographie.
Table. Molybdène cible de pulvérisation Domaines d'application
L'application d'une cible de molybdène, des alliages de molybdène de plus en plus, afin d'améliorer la résistance à la corrosion en molybdène pur (décoloration) et l'adhérence (peeling le film), le molybdène ajouter V, Nb, W, Ta, puis faire de la résistance spécifique, le stress et mieux résistance à la corrosion et d'autres propriétés. Dans le domaine des cellules solaires, de l'unité à faible coût et efficace a toujours été l'objectif de développement du solaire, après un silicium (silicium monocristallin, de silicium polycristallin) cellules solaires basé sur le développement de la haute-cost, low-cost solaires à couches minces cellules après cinq ans deviennent la principale force du marché des cellules solaires. Dans la couche de cellules solaires à couches minces, la nécessité d'utiliser du matériel de retour d'électrode, et la mammographie corrosion du verre résistant à haute température et la conductivité et de la bonne sorte de retour matériel, de l'électrode de choix.
En outre, la mammographie d'une cible de pulvérisation de molybdène avec les autres ou d'autres conditions du procédé, le câblage dans le semi-conducteur, de traitement médical, d'usinage et d'autres domaines sont largement lubrifiant solide.
Molybdène dans l'industrie de revêtement est une autre application importante de la pulvérisation. Molybdène cible de pulvérisation large application dans des segments de piston, des roulements, de l'équipement d'extrusion, le bloc moteur, à haute usure composants de turbine de pièces pulvérisation du molybdène de surface à améliorer la résistance à l'usure.
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