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钼合金 - 镀膜行业

钼合金 - 镀膜行业

随电子信息行业的快速发展,钼作为溅射靶材的应用呈直线上升。溅射靶材是获得薄膜材的基础,随着薄膜科学的飞速发展和薄膜技术的不断进步,靶材的研究也得到长足的发展。溅射靶材的应用领域包括平面显示、半导体、磁记录存储、光记录存储、太阳能机械、汽车、玻璃、装饰等行业。

在种类繁多的靶材中,钼靶具有很多优异特性,因此广泛应用在平面显示行业、薄膜太阳能电池行业、半导体行业、医疗行业、机械加工行业以及固体润滑等方面,表1是钼靶的主要应用。

近年来,作为LCO(液晶显示)、PDP(等离子显示)等平面显示器的电极和配线材料的钼系合金靶越来越受到人们的关注。在TFT-LCO中,栅电极是一个关键部件,以前主要是用Cr/AL作为栅电极材料,随着平面显示器的大型化和高精度化,对材料的比阻抗要求越来越高,钼的比阻抗和膜应力仅为铬的1/2,同时,由于在蚀刻过程中会产生六价态Cr,对环境和健康有害,因此现在越来越多的公司改用Mo/AL作为栅电极材料,这样对钼靶的需求也就越来越大。

钼靶材

表 钼靶材应用领域

在钼靶的应用中,钼合金的研究也越来越多,为进一步提高纯钼在耐腐蚀性(变色)和密着性(膜的剥离),在钼中添加V、Nb、W、Ta,则会使比电阻、应力及耐蚀性等各种性能更好。在太阳能电池领域,低价和高效的统一始终是太阳能发展的目标,在经历了以硅(单晶硅、多晶硅)为基础的高成本太阳能电池的发展,低成本的薄膜太阳能电池5年后将成为太阳能电池市场的主力。在薄膜太阳能电池的膜层中,需要用到背电极材料,而钼靶具有耐玻璃腐蚀、耐高温和导电率好等优点,因此成为背电极材料的首选。

此外,钼靶可以与其他靶材共溅射或者其他工艺条件下使用,在半导体布线、医疗、机械加工和固体润滑等领域应用广泛。

钼在镀膜工业另一重要应用是喷镀。钼的喷镀应用广阔,在活塞环、轴承、挤塑设备、发动机缸体、涡轮机部件等高耐磨零件表面喷镀钼提高耐磨性。

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