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钼合金在液晶领域的应用

钼靶材钼合金在液晶领域有什么应用呢?

大型平板显示器更要求低电阻化 作为LCD、PDP 等平板显示器的电极或配线材料,钼合金系靶材引人注目。

目前在 LCD 上主要使用 Cr,但随着平板显示器大型化、高精细化,对材料比电阻的要求提高,需求高涨。在靶材的大型化方面,日本的某公司与奥地利的某公司展开了竞争。

添加 W等元素可使比电阻、应力、耐蚀性均衡由于平板显示器的大型化,配线的长度增加线宽变细,因此电阻值增大,所以要求更低电阻的配线材料。与 Cr 相比,钼的比电阻、膜应力要小一半,但耐蚀性(变色)、密着性差。在 钼中加入 W、V、Nb、Ta 等,以求比电阻,应力、耐蚀性等各种性能均衡。

Mo-V、Mo-Nb 合金靶材日立公司开发了添加V、Nb的靶材。纯钼膜的比电阻约为Cr一半(12ìùcm~13ìùcm),应力也低,但耐蚀性试验中产生膜剥离、消失。而在80钼-20V(at%)合金膜中,虽产生变色,但未产生膜剥离,比电阻比 Cr 的低 5%。80钼-20Nb(at%)合金膜则不变色,保持金属光泽,比电阻比 Cr 低 10%。该公司正根据需求要求完善 钼 系靶材的分级。

某公司向日本出口纯钼和钼-W合金 某公司现向日本供应 钼 及耐蚀性、膜的密着性都改善的Mo-W合金靶材。该公司将板材出口到日本(日本某),在日本国内对板两面抛光,复合在基板上供给用户。

靶材大型化的竞争日趋激烈靶材也在追求与平板显示器相应的尺寸大型化。现在的主流是第四代的 1130mm×1200mm 尺寸,今后可能向第五代的 1450mm×1700mm 和第六、七代的 2000mm 见方的方向发展。东ソー的 钼 靶为片式的 1000mm×1300mm×16mm 和 长 方 形 的 300mm × 2000mm ×16mm,日立金属的也与第五代的尺寸相应。某公司占据世界上无人匹敌的大型 钼轧制技术的优势地位,估计在大型靶材上要与其它公司拉大差距。

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